(一)清潔室之等級
世界各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯邦標準209為多，以下僅就209D及209E跟世界上其它各國制訂標準作介紹與彼此比較。凈化設備能夠吸附、分解或轉化各種空氣污染源、空氣污染物【室內生物性污染。主要包括細菌、真菌、霉菌、病毒、塵螨、花粉、寵物皮屑、生物體有機成分等），有效提高空氣清潔度的產品，目前以清除室內空氣污染的家用和工業凈化設備為主。
209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，清潔室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3….依此類推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數量字是以每破方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數量字以10的冪次方表示，取指數為之，若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。 清潔網z:Wg1pj
美國聯邦標準FS 209D都以英制每破方英呎為單位，日本則是采取公制，即以每破方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每破方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。

　　(二)清潔室之定義
清潔室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清潔室。　「清潔室」是指將一定空間范疇內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之沾染物消除，并將室內之溫度、清潔度、室內壓力、氣流速度與氣流散布、噪音振動及照明、靜電把持在某一須要范疇內，而所給予特別設計之房間。亦即是不管外在之空氣前提如何變更，其室內均能俱有堅持原來所設定請求之清潔度、溫濕度及壓力等機能之特點。
清潔室最重要之作用在于把持產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的清潔度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間咱們稱之為「清潔室」。
　　(三)清潔室控管之名目

　　1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

　　2. 能避免微塵粒子之產生。

　　3. 溫度跟濕度之把持。

　　4. 壓力之調節。

　　5. 有害氣體之消除。凈化等級塵粒最大允許數/立方米≥0.5μm塵粒數,500，≥5μm塵粒數0，微生物最大允許數浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。

　　6. 結構物與隔間之氣密性。

　　7. 靜電之防制。

　　8. 電磁煩擾防備。

　　9. 保險因素之考慮。

　　10. 節能之考量。
　　(四)清潔室之分類1.亂流式(Turbulent Flow)
空氣由空調箱經風管與清潔室內之空氣過濾器(HEPA)進入清潔室，并由清潔室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型活動而呈不規矩之亂流或渦流狀況。此型式實用于清潔室等級1,000-100,000級。
優點結構簡單、體系建造本錢，清潔室之裁減比較輕易，在某些特別用處場合，可并用無塵工作臺，進步清潔室等級。
毛病亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易沾染制程產品。另外若體系結束運行再激活，欲達須要之清潔度，往往須耗時相稱長一段時光。 2.層流式(Laminar)
層流式空氣氣流活動成一均勻之直線形，空氣由籠罩率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式實用于清潔室等級需定較高之環境利用，個別其清潔室等級為Class 1~100。其型式可分為二種

　　(1)水平層流式水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風體系回風，塵埃隨風向排出室外，個別在下賤側沾染較重大。
優點結構簡單，運行后短時光內即可變成牢固。
毛病建造用度比亂流式高，室內空間不易裁減。

　　(2)垂直層流式房間天花板完全以ULPA過濾器籠罩，空氣由上往下吹，可得較高之清潔度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可疾速排出室外而不會影響其它工作區域。
優點治理輕易，運行開端短時光內即可達牢固狀況，不易為作業狀況或作業人員所影響。
毛病結構用度較高，彈性應用空間艱苦，天花板之吊架相稱占空間，維修調換過濾器較麻煩。 3.復合式(Mixed Type)
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可供給局部超清潔之空氣。

　　(1)清潔隧道(Clean Tunnel)以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%籠罩使清潔度等級進步至10級以上，可節儉裝置運行用度。此型式需將作業人員之工作區與產品跟機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品德，ULSI制程大都采取此種型式。
清潔隧道另有二項優點A.彈性裁減輕易； B.維修設備時可在維修區輕易履行。

　　(2)清潔管道(Clean Tube)將產品流程經過的主動生產線包抄并沾染處理，將清潔度等級提至100級以上。凈化設備能夠吸附、分解或轉化各種空氣污染源、空氣污染物【室內生物性污染。主要包括細菌、真菌、霉菌、病毒、塵螨、花粉、寵物皮屑、生物體有機成分等），有效提高空氣清潔度的產品，目前以清除室內空氣污染的家用和工業凈化設備為主。因產品跟作業員及發塵環境彼此隔離，少量之送風即可得到良好之清潔度，可節儉能源，不需人工的主動化生產線為最適合利用。藥品、食品業界及半導體業界均實用。

　　(3)并裝局部清潔室(Clean Spot)將清潔室等級10,000~100,000之亂流清潔室內之產品制程區的清潔度等級進步為10~1000級以上，認為生產之用；清潔工作臺、清潔工作棚、清潔風柜即屬此類。
清潔工作臺等級Class 1~100級。
清潔工作棚為在亂流式之清潔室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采取獨破之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高等之清潔空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，籠罩面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性應用。