無塵車間的溫度試驗包括功能溫度試驗和一般溫度試驗。無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。無塵車間目前級別最高的當屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊領域，面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產車間，物聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。凈化工程指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。功能溫度測試主要用于無塵車間需要嚴格控制溫度精度或施工人員需要靜態或動態測試時，一般溫度測試主要用于空氣溫度測試。

在無塵車間的功能溫度測試中，應將潔凈區域劃分為等面積網格，每個網格面積不得超過100平方米，或與施工方協商確定，每個網格測量點應大于1，每個房間至少應有2個測量點。試驗高度應為工作面高度、頂棚距離、墻體及地面不小于300 mm，并應考慮熱源的影響。測量時間應至少為1H，6 min應至少測量一次。讀數穩定后，應記錄下來。無塵車間一般溫度測試的測點，各溫度控制區或每個房間內的一個測點，測點高度應為工作面高度，測量時間至少為1H，測量6 min應至少測量一次。讀數穩定后，應記錄下來。

無塵車間濕度測試：濕度測試可通風干濕球濕度計，電容式濕度計，數字濕度計，發型濕度儀。